Tính năng thiết kế của thiết bị chip so sánh đa chip của máy sơn chân không

1) Xi lanh cố định 3 Thiết kế hình trụ, đường kính lớn, cấu trúc tường dày và phương pháp cố định đối xứng chu vi có thể đảm bảo đủ sức mạnh và độ cứng, đồng thời, nó cũng có thể ngăn ngừa mài mòn nhiệt độ cao làm ô nhiễm các bộ phận bên trong của nó , để đảm bảo tính linh hoạt của vòng quay của mặt số 15 .

2) Thiết kế của ghế chịu lực tròn 2 đảm bảo niêm phong và chiều dọc của việc lắp đặt ghế chịu lực; tăng đường kính trục 1, tăng khoảng cách lắp đặt giữa hai vòng bi ở ghế chịu lực 2, cải thiện độ bền và độ cứng của chính nó, đảm bảo độ cứng của trục 1 và tính linh hoạt quay của mặt số 15 trong quá trình quay phù hợp với khả năng lặp lại của vị trí.

3) Tải cơ chế chuyển vị, bằng cách mở rộng đường kính của tấm hỗ trợ 16, diện tích hiệu quả của cơ chế theo hướng mặt phẳng được tăng lên và một màng so sánh có đường kính lớn (Φ26,5mm) có thể được lắp đặt, có lợi cho việc điều chỉnh đường dẫn quang học và cải thiện chất lượng của màng quang học; Mảnh so sánh 12 được làm bằng một mảnh thủy tinh duy nhất như một đơn vị so sánh. Phần so sánh áp dụng phương pháp cài đặt xếp chồng ba chiều không gian. Nhiều mảnh thủy tinh được xếp chồng lên nhau và lắp đặt trong một xi lanh lưu trữ mảnh so sánh 13, để 50 ~ 100 mảnh so sánh có thể được đặt tại một thời điểm, giải quyết vấn đề của máy sơn. Phủ màng quang học chính xác nhiều lớp, so với vấn đề là số lượng nhỏ các tấm ảnh hưởng đến số lượng lớp phủ và độ chính xác.

4) Sự hợp tác của tấm định vị 6 và khớp nối quang học loại khe 17, thông qua khớp nối quang học kiểu khe, ba khe chia đều 120 ° trên tấm định vị được cảm nhận và vòng quay của động cơ được điều khiển dừng lại. Tính nhất quán của vòng quay và vị trí của trục 1 được đảm bảo sẽ được lặp lại và mặt số 15 được điều khiển để hoàn thành hành động quay số chính xác.

5) Cơ chế nạp vào con dấu quay được đưa vào cơ chế con dấu Wilson 5, không chỉ đảm bảo rằng động cơ 9 điều khiển vòng quay linh hoạt của trục 1 thông qua lưới bánh răng, mà còn đảm bảo hiệu quả niêm phong của buồng chân không ra bên ngoài. Thiết kế tối ưu hóa của thiết bị so sánh đa chip của máy sơn chân không có các đặc điểm sau: (1) Cấu trúc đơn giản, độ bền cao và độ tin cậy tốt; (2) Số lượng chip so sánh lớn, hiệu quả sản xuất được cải thiện và quang học chính xác cực kỳ đa lớp có thể được phủ (3) Đường kính của màng so sánh được tăng lên, độ chính xác của giám sát phim được cải thiện, các yêu cầu đối với hệ thống phần cứng giảm và hệ thống dễ dàng nhận ra điều khiển tự động; (4) Chi phí bảo trì thấp.

Thông qua thiết kế tối ưu hóa của thiết bị mảnh so sánh nhiều mảnh của máy sơn chân không, tính linh hoạt của vòng quay của cơ chế mảnh so sánh và tính nhất quán của sự lặp lại được đảm bảo, và diện tích hiệu quả nhỏ của mảnh so sánh, điều chỉnh bất tiện của đường dẫn quang học và tỷ lệ tín hiệu trên tiếng ồn của tín hiệu quang học được giải quyết. Nó cũng giải quyết vấn đề tải ít tấm so sánh, có thể cải thiện đáng kể chất lượng của màng quang học được phủ bởi máy sơn chân không hiện có và màng quang học với hơn 30 lớp có thể được phủ. Thực tế đã chứng minh rằng cấu trúc tấm so sánh này rất hữu ích và có thể được thúc đẩy và thực hiện trong ngành công nghiệp sơn chân không quang học hiện đại.