Giới thiệu công nghệ sơn phủ bay hơi chân không

Công nghệ lớp phủ bay hơi chân không của các nhà sản xuất máy sơn chân không bao gồm lớp phủ bay hơi điện trở, lớp phủ bay hơi chùm điện tử, lớp phủ bay hơi bằng chùm tia laze, lớp phủ bay hơi gia nhiệt cảm ứng tần số cao, v.v. Bảng sau liệt kê các đặc điểm của một số công nghệ lớp phủ bay hơi.

1. Mạ bay hơi điện trở: Nguồn bay hơi điện trở được sử dụng để làm bay hơi các vật liệu có nhiệt độ nóng chảy thấp, chẳng hạn như vàng, bạc, kẽm sunfua, magie florua, crom trioxit, vv Các nguồn bay hơi điện trở thường được làm bằng vonfram, molypden và tantali.

2. Mạ bay hơi chùm điện tử: Sau khi vật liệu phim được hóa hơi và bay hơi bằng cách đốt nóng bằng chùm điện tử, đây là một phương pháp gia nhiệt quan trọng trong công nghệ bay hơi chân không để ngưng tụ và tạo màng trên bề mặt của chất nền. Có nhiều loại thiết bị như vậy. Với sự ứng dụng rộng rãi của công nghệ màng mỏng, không chỉ yêu cầu về chủng loại màng đa dạng mà yêu cầu về chất lượng của màng cũng khắt khe hơn. Sự bay hơi điện trở không còn có thể đáp ứng nhu cầu bay hơi của một số kim loại và phi kim loại. Nguồn nhiệt chùm điện tử có thể thu được mật độ năng lượng lớn hơn nhiều so với nguồn nhiệt điện trở và giá trị có thể đạt đến 104-109 w / cm2, do đó phim có thể được nung nóng đến 3000-6000 c. Điều này cung cấp một nguồn nhiệt tốt hơn để làm bay hơi kim loại chịu lửa và các vật liệu phi kim loại như vonfram, molypden, germani, SiO2, AI2O3, v.v. Hơn nữa, vì vật liệu được làm bay hơi được đặt trong một nồi làm mát bằng nước, nên sự bay hơi của Vật liệu chứa và phản ứng giữa vật liệu chứa và vật liệu màng có thể tránh được, điều này cực kỳ quan trọng để cải thiện độ tinh khiết của màng. Ngoài ra, nhiệt có thể được bổ sung trực tiếp lên bề mặt của vật liệu phim, do đó hiệu suất nhiệt cao, dẫn nhiệt và tổn thất bức xạ nhiệt nhỏ.

3. Mạ bay hơi gia nhiệt cảm ứng tần số cao: Kim loại được nung nóng đến nhiệt độ bay hơi bằng nguyên lý gia nhiệt cảm ứng. Đặt chén nung chứa vật liệu màng vào giữa cuộn xoắn ốc (không tiếp xúc) và cho dòng điện tần số cao chạy qua cuộn dây, dòng điện này có thể làm vật liệu màng kim loại tạo ra dòng điện để tự nóng lên cho đến khi bay hơi.

Đặc điểm của nguồn bay hơi đốt nóng cảm ứng: 1) Tốc độ bay hơi lớn 2) Nhiệt độ của nguồn bay hơi đồng đều và ổn định, không dễ sinh ra hiện tượng giọt nhôm bắn tung tóe 3) Nguồn bay hơi tích điện một lúc , không cần cơ cấu cấp dây, điều khiển nhiệt độ tương đối dễ dàng và vận hành đơn giản 4) Đối với màng Yêu cầu về độ tinh khiết của vật liệu rộng hơn một chút.

4. Mạ bay hơi gia nhiệt bằng hồ quang: Một phương pháp gia nhiệt tương tự như phương pháp gia nhiệt bằng chùm tia điện tử là phương pháp nung nóng phóng điện hồ quang. Nó cũng có đặc điểm là tránh được sự nhiễm bẩn của vật liệu nung điện trở hoặc vật liệu nấu nấu, và nhiệt độ nung cao, đặc biệt thích hợp cho sự bay hơi của kim loại chịu lửa, graphit, v.v. với nhiệt độ nóng chảy cao và độ dẫn điện nhất định. Đồng thời, thiết bị sử dụng trong phương pháp này đơn giản hơn thiết bị gia nhiệt bằng chùm tia điện tử nên nó là thiết bị bay hơi tương đối rẻ tiền.

5. Mạ bay hơi bằng chùm tia laze: Phương pháp sử dụng tia laze xung mật độ công suất cao để làm bay hơi vật liệu để tạo thành một màng mỏng thường được gọi là bay hơi bằng tia laze