Máy sơn PVD cho đồ nội thất

Vật liệu mục tiêu phủ PVD phổ biến là gì?

Vật liệu phủ sẽ bị bắn tung tóe hoặc bay hơi được gọi là "vật liệu đích" hoặc "vật liệu nguồn". Có hàng trăm loại vật liệu thường được sử dụng trong PVD. Tùy thuộc vào sản phẩm cuối cùng là gì, các vật liệu bao gồm kim loại, hợp kim, gốm sứ, các thành phần và bất kỳ thứ gì trong bảng tuần hoàn.

Một số quy trình yêu cầu các lớp phủ độc đáo như cacbua, nitrit, silicit và borid cho các ứng dụng chuyên biệt. Mỗi loại đều có những phẩm chất đặc biệt phù hợp với các yêu cầu hiệu suất cụ thể. Ví dụ như graphit và titan thường được sử dụng trong các thành phần hàng không vũ trụ và ô tô hiệu suất cao, nơi ma sát và nhiệt độ là những yếu tố quyết định thành công.

Để đạt được độ dày lớp phủ màng mỏng đồng nhất, thường dày một vài nguyên tử hoặc phân tử, các bộ phận được phủ thường được quay theo vài trục với tốc độ đồng đều, hoặc được đặt trên băng tải di chuyển qua dòng plasma của vật liệu lắng đọng. Các lớp phủ một lớp hoặc nhiều lớp có thể được thi công trong cùng một chu kỳ lắng đọng.

Có một số xu hướng quốc tế gần đây đáng chú ý. Một là phương pháp phân tích từ trường không cân bằng đã phát triển nhanh chóng ở các công ty thiết bị phủ quy mô lớn, đặc biệt là các công ty châu Âu, và đã bắt đầu ứng dụng quy mô lớn trong công nghiệp; còn lại là một số công ty ở Hoa Kỳ. Magnetronsputtering đã có những bước phát triển vượt bậc. Tốc độ lắng đọng của màng oxit và nitrua được mạ của nó gần như đạt tới tốc độ kim loại. Sự phún xạ magnetron tần số trung gian của lò chân không có yêu cầu cao về mục tiêu chỉ định và từ trường và áp suất không khí làm việc. Phún xạ magnetron tần số trung gian gấp 2 đến 3 lần tốc độ lắng đọng của phún xạ magnetron DC. Phương pháp phún xạ magnetron tần số trung gian với hai mục tiêu để chuẩn bị màng phức hợp. Do tỷ lệ ion hóa thấp, rất khó để tìm ra điểm nhiễm độc tối ưu, và việc kiểm soát dòng khí làm việc rất nghiêm ngặt. Nếu kiểm soát không tốt thì khó có thể tạo được lớp màng liên kết đồng đều và tốt. Sau đó, thiết kế của từ trường chủ yếu là về sự đồng đều của phân bố từ trường, điều này không chỉ có thể cải thiện tỷ lệ sử dụng của vật liệu mục tiêu, mà còn cải thiện đáng kể độ ổn định của điểm nhiễm độc tối ưu khi làm việc. Năng lượng ion và tính chất nhiễu xạ của phún xạ magnetron ở xa Bên dưới bề mặt mục tiêu nhiều hồ quang, khoảng cách từ phôi rất quan trọng. Nếu các ion ở quá gần phôi, việc bắn phá phôi có thể làm hỏng lớp phim. Nếu quá xa, nó sẽ lệch khỏi khoảng cách phún xạ tối ưu. Màng có độ bám dính kém.

Mục tiêu tần số trung gian sử dụng ba cặp mục tiêu và một số sử dụng ba cặp. Các mục tiêu tương đối lớn. Theo như tần số trung gian, hầu hết chúng là phôi mạ kim loại. Các lò chân không như vậy thường được chế tạo tương đối lớn. , Bạn có thể đặt nhiều mảnh nguyên công xuống, và màng mạ dày đặc hơn.

Đăng kí

Tham số

Công ty của chúng tôi

Chú phổ biến: máy sơn pvd cho đồ nội thất, Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà sản xuất, nhà máy, tùy chỉnh, mua, giá cả, báo giá