Máy tráng sợi

Phún xạ tần số trung gian cũng là một loại phún xạ magnetron.

Có nhiều dạng phún xạ magnetron, có thể chia thành phún xạ magnetron DC, phún xạmagnetron tần số vô tuyến và phún xạ magnetron tần số trung gian tùy theo nguồn điện được sử dụng. Nguồn cung cấp được sử dụng trong phún xạ magnetron DC là nguồn điện áp cao DC, thường là 300-1000 V, có đặc điểm là tốc độ phún xạ nhanh, chi phí thấp và bảo trì rẻ trong giai đoạn sau. Tuy nhiên, chỉ có thể bắn ra các mục tiêu kim loại. Nếu mục tiêu là chất cách điện, khi quá trình phún xạ tiến triển, mục tiêu sẽ tích lũy một lượng lớn điện tích, dẫn đến việc phún xạ không thể tiếp tục. Do đó, phún xạ magnetron DC thường được sử dụng cho các mục tiêu kim loại. Do giá thành rẻ và cấu tạo đơn giản nên nó được sử dụng rộng rãi trong công nghiệp. Tần số của nguồn cung cấp RF được sử dụng trong phún xạ magnetron RF thường là 13,56 MHz, có thể giải quyết vấn đề là phún xạ magnetron DC không thể làm phún xạ các mục tiêu cách điện. Các đặc tính của phún xạ RF magnetron là: có thể bắn ra các mục tiêu cách nhiệt và mục tiêu kim loại, và độ bám dính giữa màng và chất nền rất mạnh. Tuy nhiên, do cấu trúc và thiết bị phức tạp, giá thành cao của bộ nguồn RF, chi phí bảo trì cao, bức xạ vào cơ thể con người và yêu cầu mạng kết hợp bên ngoài, nó không thích hợp cho sản xuất công nghiệp. Phún xạ nam châm tần số trung gian thường được sử dụng cho phún xạ phản ứng để chuẩn bị màng hợp chất kim loại. Ngoài argon, một lượng nhỏ khí phản ứng như nitơ, oxy, vv được thêm vào khoang để lắng các phân tử của các khí phản ứng này với các nguyên tử của vật liệu đích. ontothe chất nền để tạo thành màng hợp chất kim loại. Vì phún xạ magnetron DC được sử dụng rộng rãi trong công nghiệp nên bảng phún xạ magnetron bao gồm một hệ thống chân không, một hệ thống phủ phún xạ, một chất khí và một hệ thống điều khiển.

Đăng kí

Tham số

Công ty của chúng tôi

Chú phổ biến: máy sơn kéo sợi, Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà sản xuất, nhà máy, tùy chỉnh, mua, giá cả, báo giá