Máy sơn PVD bằng thép không gỉ

Thiết bị PVD Coating là thiết bị làm nóng chảy và bay hơi nhôm kim loại ở nhiệt độ cao trong điều kiện chân không cao, để hơi nhôm đọng lại trên bề mặt màng nhựa, do đó bề mặt màng nhựa có ánh kim loại. Là một công nghệ sản xuất một loại màng cụ thể, công nghệ phủ chân không có rất nhiều ứng dụng trong thực tế sản xuất và đời sống.

Trong quá trình phủ phún xạ magnetron, các vấn đề về độ đồng đều của độ dày màng, chất lượng hình thành màng và tốc độ phún xạ rất được quan tâm trong thực tế sản xuất. Các yếu tố ảnh hưởng đến sự ổn định của các quá trình này chủ yếu bao gồm công suất phún xạ, áp suất khí và độ tinh khiết của argon, khoảng cách giữa mục tiêu và chất nền, cường độ và sự phân bố của từ trường, nhiệt độ và độ sạch của chất nền, v.v. Biết và nắm vững các yếu tố này có thể giúp nhanh chóng tìm ra nguyên nhân và giải pháp của lỗi.

1. Ảnh hưởng của sức phún xạ

Việc tăng công suất phún xạ sẽ cải thiện tính đồng nhất của độ dày màng và tốc độ phún xạ. Với việc tăng công suất phún xạ, diện tích plasma tăng lên, do đó tính đồng nhất của lớp phim sẽ được cải thiện. Việc tăng công suất có thể cải thiện mức độ ion hóa của khí argon, và tăng số lượng nguyên tử mục tiêu bị bắn tung tóe, do đó làm tăng tốc độ phún xạ. Các nguyên tử mục tiêu này được lắng đọng trên chất nền với năng lượng cao, do đó, độ bám dính giữa các nguyên tử mục tiêu với chất nền và mật độ của màng có thể được cải thiện. Do đó, chất lượng tạo màng của màng mỏng được cải thiện. Tuy nhiên, công suất quá cao sẽ làm cho các nguyên tử bắn phá chất nền với năng lượng quá cao, và các điện tử thứ cấp cũng tăng theo, điều này sẽ làm cho nhiệt độ chất nền quá cao, và sẽ làm giảm chất lượng màng và tốc độ phún xạ của màng.

2, ảnh hưởng của khoảng cách cơ sở mục tiêu

Khi khoảng cách đích đến cơ sở nhỏ, chất lượng phim cao và tỷ lệ phún xạ cao, nhưng độ đồng đều của lớp phim kém. Khi tăng khoảng cách giữa mục tiêu đến cơ sở, chất lượng phim và tỷ lệ phún xạ sẽ giảm, đồng thời độ đồng đều của phim sẽ được cải thiện. Do đó, khoảng cách giữa mục tiêu đến cơ sở thích hợp là một yếu tố quan trọng để đảm bảo sự ổn định của quy trình. Vì thiết bị đã được thiết lập với khoảng cách cơ sở mục tiêu thích hợp tại nhà máy, nó sẽ không được thảo luận ở đây.

Đăng kí

Tham số

Công ty của chúng tôi

Chú phổ biến: máy sơn pvd bằng thép không gỉ, Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà sản xuất, nhà máy, tùy chỉnh, mua, giá cả, báo giá